Röntgenstrahlen reflektierende Spiegel mit verminderten thermischen Spannungen und Röntgenstrahloptische Systeme mit diesen Spiegeln

EP1331646 Art A2 30. Juli 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1331646
Aktenzeichen: EP03001788
Anmeldetag: 28. Januar 2003
Veröffentlichung: 30. Juli 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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