Zentrierungsmechanismus, Zentrierungseinheit, Apparat zur Herstellung von Halbleitern und Zentrierungsmethode

EP1331659 Art B1 2. Mai 2007

Anmelder: Samsung Electronics Co., Ltd., TOKYO ELECTRON LIMITED, SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1331659
Aktenzeichen
EP03001451
Anmeldetag
22. Januar 2003
Veröffentlichung
2. Mai 2007
Erteilung
2. Mai 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Samsung Electronics Co., Ltd.
TOKYO ELECTRON LIMITED
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

71.857 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.253 Patente in unserer Datenbank

Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

39.124
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