Selbstreinigendes optisches Element für Röntgenstrahlenoptik, sowie ein solches Element enthaltende optische und mikrolithographische Systeme

EP1333323 Art A3 6. Oktober 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1333323
Aktenzeichen: EP03002242
Anmeldetag: 31. Januar 2003
Veröffentlichung: 6. Oktober 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/00G03F1/14G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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