Optisches Element zur Bildung eines bogenförmigen Beleuchtungsfeldes

EP1333325 Art A1 6. August 2003

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1333325
Aktenzeichen
EP02002429
Anmeldetag
1. Februar 2002
Veröffentlichung
6. August 2003
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Kanzlei
Sawodny Patentanwalt Ulm, Deutschland

Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.

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