Verfahren zur Herstellung eines Isolierfilms und Substratverabeitungsvorrichtung dafür
EP1333475
Art B1
10. November 2010
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1333475
- Aktenzeichen
- EP01984367
- Anmeldetag
- 18. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 10. November 2010
- Erteilung
- 10. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/31H01L29/78H01J37/32C23C16/455C23C16/458C23C16/48C23C16/50C23C16/452
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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