Elektronenstrahl-Vorrichtung und Methode zur Verhinderung von Hochspannungs-Überschlägen

EP1336983 Art A3 3. September 2003

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi Science Systems, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1336983
Aktenzeichen: EP02024961
Anmeldetag: 7. November 2002
Veröffentlichung: 3. September 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/06H01J37/248H01J37/065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi Science Systems, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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