Poliereinrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP1336988 Art A1 20. August 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1336988
Aktenzeichen: EP01981007
Anmeldetag: 7. November 2001
Veröffentlichung: 20. August 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/04B24B49/12H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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