Vorrichtung und Verfahren zur Halterung eines optischen Elementes unter verminderter Belastung innerhalb sowie ausserhalb einer optischen Säule

EP1338911 Art A3 15. Juni 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1338911
Aktenzeichen: EP03003853
Anmeldetag: 20. Februar 2003
Veröffentlichung: 15. Juni 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G02B7/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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