Waferträger mit Stapeladapterplatte

EP1339622 Art A2 3. September 2003

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1339622
Aktenzeichen
EP01986506
Anmeldetag
4. Dezember 2001
Veröffentlichung
3. September 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B65D85/00B65D85/30B65G49/07B65D85/48H01L21/68
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik
Vertreten von
Geyer, Werner, Dr.-Ing München, Deutschland
167
Patente gesamt
28
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektrische Energietechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Verpackungs- & Fördertechnik
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