Einrichtung zur Überwachung des Polierfortschrittes und Poliereinrichtung

EP1341223 Art B1 16. August 2006

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1341223
Aktenzeichen: EP01981005
Anmeldetag: 7. November 2001
Veröffentlichung: 16. August 2006
Erteilung: 16. August 2006
Rechtsraum: EP
IPC: B24B37/04B24B49/12H01L21/306B24B49/04H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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