Maskenanordnung zur Negativen Ionenimplantation für Selbstausgerichtete Musterbildung mit Sublithographischer Auflösung zur Erzeugung Einseitiger Vertikaler Bauelemente

EP1342262 Art A2 10. September 2003

Anmelder: Infineon Technologies North America Corp., International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1342262
Aktenzeichen: EP01987148
Anmeldetag: 29. November 2001
Veröffentlichung: 10. September 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/763H01L21/8242H01L21/8234

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Infineon Technologies North America Corp.
International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Infineon Technologies North America

Infineon Technologies North America ist die US-amerikanische Tochtergesellschaft des deutschen Halbleiterkonzerns Infineon Technologies. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Datenspeicherung und Schaltungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2015.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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