Resistmusterverbesserungszusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Resistmusters damit
EP1343052
Art A3
19. November 2003
Anmelder: FUJITSU LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1343052
- Aktenzeichen
- EP03000957
- Anmeldetag
- 16. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 19. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40G03F7/00H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJITSU LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujitsu
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Mitscherlich PartmbB
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Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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