Partikel-Optisches Inspektionssystem, insbesondere für Halbleiterwafer
EP1344018
Art A1
17. September 2003
Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1344018
- Aktenzeichen
- EP01272174
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 17. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B15/00G01N23/225H01J37/28H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI COMPANY
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte