Wellenfront-Aberrationsmessinstrument, Wellenfront-Aberrationsmessverfahren, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Mikrobauelements
EP1347501
Art A1
24. September 2003
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1347501
- Aktenzeichen
- EP01272289
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 24. September 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00G01M11/02H01L21/027G01B11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
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