Verfahren zur Messung der Ausrichtung eines Substrats bezüglich einer Referenz-Ausrichtmarke
EP1348149
Art B1
31. August 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1348149
- Aktenzeichen
- EP01272159
- Anmeldetag
- 10. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Erteilung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
2.212
Patente gesamt
31
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
van Hoef, Antonius Joseph Marie
NoneVeldhoven
-
Duijvestijn, Adrianus Johannes
NoneEindhoven
-
Cobben, Louis Marie Hubert
NoneEindhoven