Lithographisches Herstellungsverfahren mit einem Überdeckungsmessverfahren
EP1348150
Art B1
31. August 2005
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Koninklijke Philips Electronics N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1348150
- Aktenzeichen
- EP01272188
- Anmeldetag
- 12. Dezember 2001
- Veröffentlichung
- 31. August 2005
- Erteilung
- 31. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Koninklijke Philips Electronics N.V. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Leeming, John Gerard
London, Großbritannien
2.212
Patente gesamt
31
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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van Hoef, Antonius Joseph Marie
NoneVeldhoven
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Duijvestijn, Adrianus Johannes
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Cobben, Louis Marie Hubert
NoneEindhoven