Kollektor mit Ungenutztem Bereich für Beleuchtungssysteme mit einer Wellenlänge Kleiner oder Gleich 193 Nm.

EP1354325 Art B1 14. April 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1354325
Aktenzeichen
EP02722029
Anmeldetag
23. Januar 2002
Veröffentlichung
14. April 2010
Erteilung
14. April 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G21K1/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Kanzlei
Sawodny Patentanwalt Ulm, Deutschland

Sawodny Patentanwalt (Dr. Michael Sawodny), Teil des Kanzleiverbunds AKLaw mit Standorten in München und Ulm. Seit 1995 im Patent- und Markenrecht tätig, seit 1996 als European Patent and Trademark Attorney, mit Schwerpunkten in Materialwissenschaften, Optik und Maschinenbau.

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