Entwurf von Marken zu Litographischen Ausrichtungen und Überdeckungsmessungen auf einer Damaszenoberfläche

EP1354358 Art B1 7. Mai 2008

Anmelder: Qimonda AG, Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1354358
Aktenzeichen: EP02723082
Anmeldetag: 24. Januar 2002
Veröffentlichung: 7. Mai 2008
Erteilung: 7. Mai 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/544

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Qimonda AG
Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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