Verfahren zur katalytischen chemischen Gasphasenabscheidung von Siliziumnitrid.
EP1357587
Art B1
24. August 2005
Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1357587
- Aktenzeichen
- EP02026111
- Anmeldetag
- 22. November 2002
- Veröffentlichung
- 24. August 2005
- Erteilung
- 24. August 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/318C23C16/34C23C16/448C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
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