Plasmaeinrichtung und Plasmeerzeugungsverfahren
EP1361782
Art A1
12. November 2003
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Ando, Makoto, Takahashi, Masaharu 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1361782
- Aktenzeichen
- EP02715809
- Anmeldetag
- 18. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 12. November 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H05H1/46H01L21/3065H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Ando, Makoto
Takahashi, Masaharu - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Kanzlei
Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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