Verfahren zur Belichtung von mindestens einer Bzw. von mindestens Zwei Halbleiterscheiben

EP1362261 Art A1 19. November 2003

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1362261
Aktenzeichen: EP02722139
Anmeldetag: 25. Februar 2002
Veröffentlichung: 19. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

4.872 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von