Spiegelhalterungssystem mit Korrecktur der Formfehler und dessen Verfahren, und dasselbe verwendendes mikrolithographisches System

EP1363165 Art A1 19. November 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1363165
Aktenzeichen: EP03002832
Anmeldetag: 7. Februar 2003
Veröffentlichung: 19. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00G02B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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