Extrem-Ultraviolett-Erzeugungseinrichtung, Belichtungseinrichtung mit der Erzeugungseinrichtung und Halbleiterherstellungsverfahren

EP1365636 Art A1 26. November 2003

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1365636
Aktenzeichen: EP02700782
Anmeldetag: 26. Februar 2002
Veröffentlichung: 26. November 2003
Rechtsraum: EP
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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