Messung von Linienprofilasymmetrie unter Verwendung von Scatterometrie
EP1370828
Art B1
23. November 2016
Anmelder: Accent Optical Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1370828
- Aktenzeichen
- EP02709756
- Anmeldetag
- 28. Februar 2002
- Veröffentlichung
- 23. November 2016
- Erteilung
- 23. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/00G01N21/956G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Accent Optical Technologies, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Kanzlei
Octrooibureau Los & Stigter B.V.
Amsterdam, Niederlande
Gegründet 1910 in Amsterdam, im Gründungsjahr des niederländischen Patentgesetzes, mit Niederlassungen im Raum Utrecht und Eindhoven. Die traditionsreiche Kanzlei betreut Mandanten aus Europa, Amerika und Asien in Patent-, Marken-, Design- und Urheberrechtsfragen.
889
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Van Breda, Jacobus (NL)
NoneAmsterdam