Herstellung von Strukturen mit Hohem Spezifischen Widerstand unter Verwendung Fokussierter Ionenstrahlen
EP1374294
Art B1
4. Juni 2014
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1374294
- Aktenzeichen
- EP02705943
- Anmeldetag
- 25. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 4. Juni 2014
- Erteilung
- 4. Juni 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04H01J37/08H01L21/285H01L49/02H01L21/44H01L21/31H01L21/469
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte