Haltevorrichtungen für optische Elemente mit reduzierter Verformung der damit gehaltenen optischen Elemente

EP1376183 Art A3 29. Juni 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Technologies, Inc., Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1376183
Aktenzeichen
EP03014196
Anmeldetag
24. Juni 2003
Veröffentlichung
29. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/02G02B7/182G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Technologies, Inc.
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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