Adaptive Optik mit diskreten Verstellgliedern zur kontinuierlichen Deformierung eines verformbaren Spiegels

EP1376192 Art A3 17. März 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1376192
Aktenzeichen
EP03013981
Anmeldetag
20. Juni 2003
Veröffentlichung
17. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G02B26/08G02B26/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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