Verfahren zum Belichten eines Halbleiterwafers in einem Belichtungsapparat

EP1376236 Art B1 31. Mai 2006

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1376236
Aktenzeichen: EP03013746
Anmeldetag: 17. Juni 2003
Veröffentlichung: 31. Mai 2006
Erteilung: 31. Mai 2006
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Infineon Technologies AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

4.937 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von