Nichtmagnetische Robotmanipulatoren zur Bewegung von Objekten relativ zu einem Ladungsträgerstrahl-optischer System

EP1378928 Art A2 7. Januar 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1378928
Aktenzeichen: EP03014942
Anmeldetag: 1. Juli 2003
Veröffentlichung: 7. Januar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/317H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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