Verfahren zum Ätzen von Werkstoffen mit hoher Dielektrizitätskonstante und Verfahren zur Reinigung eines Abscheidungskammer von Werkstoffen mit hoher Dielektrizitätskonstante

EP1382716 Art A3 7. Juli 2004

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1382716
Aktenzeichen: EP03015605
Anmeldetag: 15. Juli 2003
Veröffentlichung: 7. Juli 2004
Rechtsraum: EP
IPC: C23F4/00C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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