Verfahren und Apparat zur Mehrfach-Elektronenstrahlbelichtung

EP1387389 Art A3 4. Januar 2006

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, CANON KABUSHIKI KAISHA, ADVANTEST CORPORATION, Advantest Corporation, Hitachi, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1387389
Aktenzeichen: EP03016314
Anmeldetag: 18. Juli 2003
Veröffentlichung: 4. Januar 2006
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
CANON KABUSHIKI KAISHA
ADVANTEST CORPORATION
Advantest Corporation
Hitachi, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

10.659 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

610 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

16.329 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von