Magnetspiegelplasmaquelle

EP1388159 Art B1 7. Dezember 2011

Anmelder: General Plasma, Inc., Applied Process Technologies 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1388159
Aktenzeichen
EP02723836
Anmeldetag
10. April 2002
Veröffentlichung
7. Dezember 2011
Erteilung
7. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01J7/24H01J49/42H01J37/32C23C16/50C23C16/505C23C16/54
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
General Plasma, Inc.
Applied Process Technologies
Land
🇺🇸 USA

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