Elektronenstrahl-Nah-Bereich-Belichtungsgerät

EP1388884 Art A3 25. Februar 2004

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD., Leepl Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1388884
Aktenzeichen: EP03017250
Anmeldetag: 30. Juli 2003
Veröffentlichung: 25. Februar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Leepl Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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