Verfahren zur Herstellung von Glassubstraten aus Titanoxid-Dotiertem Quarzgut für die Euv-Lithographie

EP1390309 Art B1 21. Dezember 2016

Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1390309
Aktenzeichen
EP02723639
Anmeldetag
25. März 2002
Veröffentlichung
21. Dezember 2016
Erteilung
21. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C03C4/00C03C3/06C03C3/076C03B19/14
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe
Vertreten von
Skuhra, Udo, Dipl.-Ing München, Deutschland
118
Patente gesamt
27
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Anorganische Chemie & Werkstoffe Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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