Autofokussiereinrichtung für ein Optisches Gerät
EP1393116
Art B1
28. Dezember 2005
Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH, TOKYO SEIMITSU CO., LTD., Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1393116
- Aktenzeichen
- EP02743143
- Anmeldetag
- 4. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2005
- Erteilung
- 28. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B21/00G02B21/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMS GmbH
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇯🇵
Tokyo Seimitsu
Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Hampe, Holger
Jena, Deutschland
91
Patente gesamt
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1
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