Leitender Dünnfilm für ein Halbleiterbauelement, Halbleiterbauelement und Verfahren zu Ihrer Herstellung

EP1396881 Art A1 10. März 2004

Anmelder: IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1396881
Aktenzeichen: EP02724756
Anmeldetag: 10. Mai 2002
Veröffentlichung: 10. März 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H01L29/786C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IDEMITSU KOSAN CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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