Elektrolytische Verarbeitungseinrichtung und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP1397828 Art A1 17. März 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1397828
Aktenzeichen
EP02700668
Anmeldetag
21. Februar 2002
Veröffentlichung
17. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/00C25F7/00B23H5/08C25D17/00C25D7/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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