Gerät und Bestrahlungsverfahren für einen geladenen Teilchenstrahl
EP1398818
Art B1
26. November 2008
Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1398818
- Aktenzeichen
- EP03020626
- Anmeldetag
- 10. September 2003
- Veröffentlichung
- 26. November 2008
- Erteilung
- 26. November 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Hitachi High-Technologies Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Hitachi High-Tech Corporation
Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.
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