Vakuumvorrichtung mit einem Impedanzanpassungsteil und Vakuumbehandlungsverfahren mit solchem Impedanzanpassungsteil
EP1398819
Art B1
9. November 2016
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1398819
- Aktenzeichen
- EP03020603
- Anmeldetag
- 10. September 2003
- Veröffentlichung
- 9. November 2016
- Erteilung
- 9. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01J37/24H01J37/08H01F29/14H05H1/46
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Mitscherlich PartmbB
München, Deutschland
Mitscherlich wurde 1896 in Berlin gegründet und zog 1951 nach München, direkt in Nähe zu Europäischem Patentamt, DPMA, Bundespatentgericht und der Münchner UPC-Lokalkammer. Sie legt Wert auf Kontinuität und betreut manche Mandate seit Jahrzehnten.
21.622
Patente gesamt
9
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Körber, Martin, Dipl.-Phys
NoneMünchen