Filmherstellungsverfahren, Herstellungsverfahren Viellagiger Filmreflektoren und Filmherstllungsvorrichtung

EP1400608 Art A1 24. März 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1400608
Aktenzeichen
EP02700781
Anmeldetag
26. Februar 2002
Veröffentlichung
24. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C23C14/46G02B5/08G02B5/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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