Film oder Schicht aus Halbleitendem Material und Verfahren zur Herstellung des Films oder der Schicht

EP1402567 Art B1 26. April 2006

Anmelder: Siltronic AG, Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1402567
Aktenzeichen
EP02758281
Anmeldetag
27. Juni 2002
Veröffentlichung
26. April 2006
Erteilung
26. April 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Siltronic AG
Wacker Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien Aktiengesellschaft
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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