Behandlung von Halbleiterkomponenten mit dichten Fluiden und Ultraschallenergie

EP1402963 Art A3 20. April 2005

Anmelder: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1402963
Aktenzeichen: EP03020554
Anmeldetag: 17. September 2003
Veröffentlichung: 20. April 2005
Rechtsraum: EP
IPC: B08B7/00B08B3/12H01L21/00C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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