Maschine zum Polieren von Substraten

EP1404487 Art A1 7. April 2004

Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1404487
Aktenzeichen
EP02745895
Anmeldetag
10. Juli 2002
Veröffentlichung
7. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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