Verfahren zur Messung der Dünnfilmcharakteristik unter Verwendung eines Spektroellipsometers

EP1406080 Art A1 7. April 2004

Anmelder: HORIBA, LTD., Horiba, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1406080
Aktenzeichen
EP02730683
Anmeldetag
22. Mai 2002
Veröffentlichung
7. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/21G01J4/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
HORIBA, LTD.
Horiba, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

697 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Schmidt, Frank-Michael Essen, Deutschland
109
Patente gesamt
24
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Verpackungs- & Fördertechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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