Vorrichtung und Verfahren zur Elektronenstrahllithographie

EP1406291 Art A3 9. November 2005

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1406291
Aktenzeichen: EP03022163
Anmeldetag: 30. September 2003
Veröffentlichung: 9. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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