Herstellung von Tetrafluorsilan

EP1406837 Art B1 5. Mai 2010

Anmelder: Showa Denko K.K., SHOWA DENKO K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1406837
Aktenzeichen: EP02745980
Anmeldetag: 11. Juli 2002
Veröffentlichung: 5. Mai 2010
Erteilung: 5. Mai 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C01B33/107B01D53/22H01L31/20H01L21/205C03B37/00G01N30/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Showa Denko K.K.
SHOWA DENKO K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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