Interferometersystem
EP1407220
Art A1
14. April 2004
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1407220
- Aktenzeichen
- EP02747900
- Anmeldetag
- 18. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 14. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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