Interferometersystem

EP1407220 Art A1 14. April 2004

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1407220
Aktenzeichen
EP02747900
Anmeldetag
18. Juni 2002
Veröffentlichung
14. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01B9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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