Schale für Halbleiter
EP1417143
Art A1
12. Mai 2004
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1417143
- Aktenzeichen
- EP02746994
- Anmeldetag
- 12. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B65D85/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
Breit, Ulrich
München, Deutschland
76
Patente gesamt
16
Fachgebiete
7
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Weitere Vertreter
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Patentanwälte Geyer, Fehners & Partner mbB
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