Oberflächenuntersuchungsvorrichtung und -verfahren

EP1420243 Art B1 2. Mai 2007

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation, Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd., HITACHI ELECTRONICS ENGINEERING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1420243
Aktenzeichen: EP03025311
Anmeldetag: 3. November 2003
Veröffentlichung: 2. Mai 2007
Erteilung: 2. Mai 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G01B11/30G01B15/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Hitachi High-Technologies Corporation
Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co., Ltd.
HITACHI ELECTRONICS ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von