Reinigung von Ausrichtmarken mit einem Ionenstrahl
EP1424723
Art B1
7. Januar 2015
Anmelder: FEI COMPANY, FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1424723
- Aktenzeichen
- EP03026408
- Anmeldetag
- 19. November 2003
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2015
- Erteilung
- 7. Januar 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/3213H01L21/67H01L21/68H01L23/544G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- FEI COMPANY
FEI Company - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Vertreten von
Bakker, Hendrik
Eindhoven, Niederlande
618
Patente gesamt
28
Fachgebiete
4
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Schwerpunkte